硅氮烷的制备方法有多种，以下是一些常见的制备途径：
氨解法
原理：利用含硅的卤化物、氢化物等与氨或胺类物质发生反应，通过氨解过程来生成硅氮烷。例如，氯硅烷与氨反应，硅原子上的氯原子会逐步被氨基取代，进而形成硅氮烷结构。以甲基氯硅烷为例，它与氨反应，氯原子会被氨基替换，经过一系列的反应步骤生成相应的甲基硅氮烷产物。
胺基化反应法
原理：采用含硅的化合物与具有胺基的化合物进行反应构建硅氮键，从而得到硅氮烷。比如一些含有活性硅氢键（Si—H）的硅烷化合物，可与含有活泼氨基的胺类物质发生加成反应，使硅原子与氮原子相连形成硅氮烷结构。
重排反应法
原理：某些已有的含硅、氮的化合物在特定条件（如加热、催化剂存在等）下会发生分子内或分子间的重排反应，进而生成硅氮烷。例如，一些含有特殊结构的硅胺化合物，在加热以及催化剂作用下，其化学键进行重排，转化为结构更稳定的硅氮烷。
部分环状硅氮化合物可以通过加热引发重排，改变环的大小或者结构，生成不同结构类型的硅氮烷产物。
缩合反应法
原理：含有硅羟基（Si—OH）的化合物与含氨基（—NH₂）或胺基（—NHR 等）的化合物之间发生缩合反应，脱去小分子（如水等），形成硅氮键，最终制得硅氮烷。比如，一些硅醇类化合物与胺类物质在一定的温度、合适的溶剂环境下进行反应，羟基与氨基之间脱去水分子，构建起硅氮烷的结构骨架。
金属有机化合物参与的合成法
原理：借助金属有机化合物（如有机锂试剂、格氏试剂等）先与含硅化合物反应，生成含有特定活性基团的中间体，然后再与含氮化合物进一步反应生成硅氮烷。例如，先利用有机锂试剂与氯硅烷反应，生成的中间体再和胺类进行反应来构建硅氮烷结构。
室温固化聚硅氮烷，请查看
IOTA 9150, IOTA 9150K.
高温固化聚硅氮烷，请查看
IOTA 9108,
IOTA 9118.
