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半导体芯片中对耐高温涂层的要求是什么

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在半导体芯片领域,对耐高温涂层有着多方面严苛要求: 高耐热性:芯片工作时会产生大量热量,涂层需承受数百度甚至更高温度而不发生熔化、分解或性能劣化。例如,在高性能计算芯片中,由于芯片运算速度快、发热量大,涂层要能稳定耐受 200℃ - 300℃的高温,以确保芯片在高温环境下正常运行,避免因涂层失效导致芯片损坏。 良好的热稳定性:在温度频繁变化的工况下,涂层的热膨胀系数要与芯片材料(如硅等)尽量匹配,防止因热胀冷缩差异产生的热应力致使涂层开裂、剥落。像汽车电子芯片,在车辆行驶过程中,发动机舱内温度波动剧烈,涂层与芯片基底热膨胀系数的良好匹配,能保证涂层在长期热循环中保持完整性,维持对芯片的有效保护。 高化学稳定性:芯片制造和使用环境中存在多种化学物质,涂层不能与这些物质发生化学反应,以免影响芯片性能。例如,在芯片制造的光刻、蚀刻等工艺环节,会接触到各类化学试剂,涂层需耐受这些试剂侵蚀,不被腐蚀、溶解,确保芯片制造过程顺利进行以及在后续使用中不被周围化学物质破坏。 优异的电绝缘性:半导体芯片对电学性能要求极高,涂层必须具备良好的电绝缘特性,防止电流泄漏、短路等问题影响芯片正常运行。如在集成电路芯片中,涂层的高电绝缘性可有效隔离不同电路区域,保障电子信号准确传输,避免信号干扰和电学故障。 超精密的厚度与均匀性:芯片尺寸微小且集成度高,涂层厚度需精准控制在极薄的范围(如几十纳米到几微米),同时要保证均匀覆盖芯片表面。这是因为过厚涂层可能影响芯片散热或导致芯片尺寸超公差,不均匀涂层则可能造成局部保护不足或电学性能异常。以先进制程的芯片为例,涂层厚度偏差需控制在极小范围内,确保芯片性能的一致性和稳定性。 高附着力:牢固附着在芯片表面是涂层发挥作用的基础,在芯片制造和使用过程中的振动、冲击等外力作用下,涂层不能脱落。例如,在手机芯片随手机日常使用可能受到震动、碰撞,高附着力的涂层能始终紧密贴合芯片,持续提供耐高温等防护功能。
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